1062型

Trionmill.
  • 三个独立的可调Truefocus.离子源
  • 平面样本尺寸直径高达50毫米,高度
  • 可控光束直径在各种操作能量上(100eV至10 kev)
  • 液氮冷却样台(选配)
  • 真空/惰性气体/低温转移系统可保护环境敏感样品(可选)
  • 远程操作

先进的样品制备

188bet体育国际Fischione Instruments的型号1062 TrionMill是一种优异的工具,用于产生SEM成像和分析所需的样品表面特性。

TrionMill的三个离子源提供了大规模的平面和截面样品的铣削。高能操作允许快速铣削大面积(高达50毫米);低能耗操作,样品抛光温和。

接受大型样本尺寸

TrionMill造成离子铣削可实现的最大且最均匀的平坦区域。仪器接受以下示例大小:

  • 平面:直径不超过50毫米x25毫米高[1.968 x0.787英寸]
  • 横截面:最大值:10 x 10 x 4 mm [0.39 x 0.39 x 0.157英寸]

横截面站(可选)

Fisc188bet体育国际hione Instruments的横截面站是用于在SEM磨机中创建准备用于离子铣削的原始横截面样品的工具。了解更多信息横截面站

快速样品转移

带气动真空闸阀的前装载负载锁可实现高样品吞吐量。刺刀样本座的快速释放功能速度速度速度。样品转印杆在不使用时折叠出来。

精确的角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调节的离子源倾斜角度范围为0至+ 10°。您可以选择使用一个,两个或三个Truefocus离子源。每个离子源波束角度一致移动。

自动铣削角度调整
自动铣削角度调整使用触摸屏使您能够创建多步铣削序列,包括自动调整铣削角度整个铣削过程。

可编程样品运动

样品旋转是360°连续旋转,具有可变转速和样品摇动特征。自动高度检测建立铣削平面,从而产生可重复的结果。

综合舞台冷却(可选)

TrionMill的液氮系统具有位于外壳内的杜瓦尔,完全集成和互锁。杜瓦尔位于操作员附近,便于访问。在触摸屏上连续显示温度。舞台冷却功能提供多达18小时的Cryo条件。

可编程温度

TrionMill提供了在环境和低温之间编程和维持特定温度的能力。

在低温下研磨的结论,阶段温度自动提高到环境温度前排气,以避免样品冻结和污染。热保护装置可以编程到一个特定的阶段温度阈值,在此温度阈值处,如果杜瓦中的液氮耗尽,离子源将被停用。

真空/惰性气体/低温转移系统(可选)

该系统允许在真空,惰性气体中或在低温温度下直接将样品直接转移到SEM或FIB。该系统使用主动泵送在转移过程中保持高真空。转移系统是与Quorum Technologies Ltd.的合作

样本查看(可选)

当使用任选的高倍率显微镜中的任一种时,可以在铣削位置原位监测离子铣削过程。

  • 高倍率(525倍)显微镜
  • 高倍率(1,960倍)显微镜

观察窗由快门保护,这可以防止可能会干扰样本观察的溅射材料的积累。

样本图像采集(可选)

样品图像采集选项采用CMOS(互补金属氧化物半导体)相机和监视器以在研磨期间查看样本并在原位捕获图像。该系统可用于监控延迟过程。

自动终止

离子铣削过程可以通过经过的时间或温度自动终止。

远程诊断

188bet体育国际Fischione Instruments致力于支持最大仪器正常运行时间。为此,TrionMill具有远程诊断的能力。连接到Internet时,Fischione Instruments服务可以访问TrionMill,以便快速故障排除和诊断支持。188bet体育国际