型号1062

TrionMill
  • 三个独立可调TrueFocus离子源
  • 平面样品尺寸为直径50毫米,高度25毫米
  • 在广泛的工作能量范围内(100 eV至10 keV)可控制光束直径
  • 液氮冷却样品阶段(可选)
  • 真空/惰性气体/低温传输系统保护环境敏感的样品(可选)
  • 远程操作

高级样品准备

188bet体育国际Fischione Instruments的1062型TrionMill是一个创建SEM成像和分析所需的样品表面特征的优秀工具。

TrionMill的三个离子源提供大规模的平面和横截面样品。高能量操作允许快速铣削大面积(高达50毫米);低能量操作允许温和样品抛光。

接受大样本

TrionMill创造了最大和最统一的平面区域,可实现离子铣削。本仪器接受以下样品尺寸:

  • 平面:高达50毫米x 25 mm高度[1.968 x 0.787英寸]
  • 横截面:最大:10 x 10 x 4 mm [0.39 x 0.39 x 0.157 in.]

横截面站(可选)

Fisc188bet体育国际hione仪器的横截面站是一个创建原始横截面样品的工具,准备在SEM磨离子碾磨。了解更多有关横截面站

快速样品转移

带有气动真空插板阀的前加载负载锁定使高样品吞吐量。卡口样品架的快速释放功能加速样品转移。样品转移棒在不使用时折叠。

精确角度调整

倾斜离子源以提供所需的铣削角度。连续可调离子源倾斜角度范围从0°到+10°。您可以选择使用一个、两个或三个trufocus离子源。每个离子源束的角度都是一致的。

自动铣削角度调整
使用触摸屏自动铣削角度调整使您可以创建多步铣削序列,包括在整个铣削过程中自动调节铣削角度。

可编程示例运动

样品旋转是360°连续旋转,可变转速和样品摇摆功能。自动高度检测建立铣削平面,产生可重复的结果。

集成级冷却(选配)

TrionMill的液氮系统的特点是一个杜瓦位于完全集成和联锁的外壳内。杜瓦瓶放置在操作人员附近,便于操作。温度连续显示在触摸屏上。阶段冷却功能提供高达18小时的低温条件。

可编程的温度

TrionMill提供编程和保持环境和低温之间特定温度的能力。

在低温温度结束时,在通风之前,阶段温度自动增加到环境温度以避免样品霜冻和污染。可以将热保护器编程为特定阶段温度阈值,如果杜瓦尔中的液氮耗尽,则离子源将被停用。

真空/惰性气体/低温传输系统(选配)

该系统允许在真空、惰性气体或低温下直接转移样品到SEM或FIB。该系统采用主动泵送,在输送过程中保持高真空。该系统是与Quorum Technologies Ltd.合作开发的。

样品查看(可选)

当使用任意一种可选的高倍显微镜时,可以在磨铣位置原位监测离子磨铣过程。

  • 高倍率显微镜(525 x)
  • 高倍率显微镜(1960 x)

观察窗口由一个百叶窗保护,这可以防止溅射材料的积累,可能会干扰样品观察。

样本图像采集(可选)

样品图像采集选项采用CMOS(互补金属氧化物半导体)摄像机和监视器来查看样品,并在铣削过程中现场捕获图像。该系统对监控脱层过程非常有用。

自动终止

离子磨铣过程可以根据经过的时间或温度自动终止。

远程诊断

188bet体育国际Fischione Instruments致力于支持最大的仪器正常运行时间。为此,TrionMill具有远程诊断能力。当连接到Internet时,TrionMill可以通过Fischione Instruments Service进行访问,以提供快188bet体育国际速故障排除和诊断支持。