型号1062

TrionMill
  • 三个独立可调TrueFocus离子源
  • 平面样品尺寸可达50毫米直径,25毫米高度
  • 可控制的波束直径范围广泛的工作能量(100 eV至10 keV)
  • 液氮冷却样品台(选配)
  • 真空/惰性气体/低温输送系统保护环境敏感样品(选购)
  • 远程操作

先进的样品制备

188bet体育国际Fischione仪器的1062型TrionMill是创建SEM成像和分析所需的样品表面特性的优秀工具。

TrionMill的三个离子源提供了平面和截面样品的大规模铣削。高能操作允许快速铣削大面积(高达50毫米);低能耗操作,样品抛光温和。

接受大样本容量

TrionMill创造了离子研磨所能达到的最大和最均匀的平坦区域。本仪器接受以下样品尺寸:

  • 平面:高达50毫米直径x 25毫米高度[1.968 x 0.787英寸]。
  • 横截面:最大:10 × 10 × 4毫米[0.39 × 0.39 × 0.157英寸。]

横截面站(可选)

Fisc188bet体育国际hione仪器的截面工作站是一种工具,用于创建原始截面样品,为SEM Mill中的离子研磨做好准备。如欲进一步了解横截面站

快速样品转移

气动真空插板阀前置负载锁,可实现高样品吞吐量。卡口样品支架的快速释放功能,加快样品转移。

精确的角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调离子源倾斜角度范围从0到+10°。你可以选择使用一个、两个或三个TrueFocus离子源。每个离子源束的角度移动一致。

自动铣削角度调整
自动铣削角度调整使用触摸屏使您可以创建多步铣削序列,包括在整个铣削过程中自动调整铣削角度。

可编程示例运动

样品旋转360°连续旋转,转速可变,并具有样品摇摆特性。自动高度检测建立了铣削平面,产生可重复的结果。

一体化级冷却(可选)

TrionMill的液氮系统的特点是一个杜瓦瓶位于完全集成和连锁的外壳内。杜瓦瓶放置在操作人员附近,便于操作。触摸屏上持续显示温度。舞台冷却功能可提供多达18小时的低温条件。

可编程的温度

TrionMill提供编程和保持环境和低温之间的特定温度的能力。

在低温下铣削结束时,在排气前,阶段温度自动升高到环境温度,以避免样品霜冻和污染。热保护装置可以编程到一个特定阶段的温度阈值,在此温度阈值时,如果杜瓦瓶中的液氮耗尽,离子源将被禁用。

真空/惰性气体/低温输送系统(选配)

该系统允许样品在真空、惰性气体或低温下直接转移到SEM或FIB。该传输系统是与Quorum技术有限公司合作的。

样品查看(可选)

当使用任意一种可选的高倍显微镜时,离子铣削过程可以在铣削位置进行原位监测。

  • 高倍率显微镜(525 x)
  • 高倍率显微镜(1960 x)

观察窗口由百叶窗保护,以防止溅射材料的堆积,可能干扰样品的观察。

样本图像采集(可选)

样品图像采集选项采用CMOS(互补金属氧化物半导体)摄像机和监视器来查看样品并在铣削过程中就地捕获图像。该系统可用于监控分层过程。

自动终止

离子铣削过程可以自动终止时间或温度。

远程诊断

188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大的仪器正常运行时间。为此,TrionMill具有远程诊断能力。当连接到互联网时,TrionMill可以通过Fischione仪器服务访问,以快速故障排除和诊断支持。188bet体育国际