型号1061.

SEM磨坊
  • 快速铣削的高能量操作;用于样品抛光的低能量操作
  • 两个独立的可调Truefocus离子源
  • 离子源在宽范围的操作能量(100eV至10kev)上保持其小光束直径
  • 可调节的10英寸触摸屏,具有用户友好的界面,用于简单的铣削参数设置
  • 方法创建原始截面样本横截面站(选修的)
  • 可调节铣削角度范围为0至+ 10°
  • 现场观察和铣削期间的图像捕捉
  • 可根据时间或温度自动终止
  • 液氮冷却样品台(选配)

高级样品准备

TRUEFOCUS ION源对于当今的许多先进材料,扫描电镜分析是快速研究材料结构和性能的理想技术。188bet体育国际Fischione仪器的1061型SEM Mill是创建SEM成像和分析所需的样品表面特性的优秀工具。

接受大型样本尺寸

SEM磨机接受以下样本尺寸:

横截面*
最大值:0.39 x 0.39 x 0.157英寸(10 x 10 x 4.0 mm)
最小值:0.12 x 0.12 x 0.028英寸(3 x 3 x 0.7 mm)

平面
1.25英寸直径x 1英寸高度(32 x 25 mm)

自动样品厚度传感最大限度地提高了产量,而磁编码提供了绝对定位精度。

横截面站(可选)
Fisc188bet体育国际hione仪器的截面工作站是一种工具,用于创建原始截面样品,为SEM Mill中的离子研磨做好准备。请按此了解更多有关横截面站

快速样品转移

该SEM轧机具有一个真空负载锁定快速样品交换。负载锁符合人体工程学设计;只需抬起装载锁盖,将样品支架装载到舞台上。

更换盖子,在几秒钟内疏散负载锁。在离子铣削期间,真空确保负载锁盖到位。然后,一个电子控制的升降机将样品移动到铣削位置。

在铣削过程结束时,样品架返回装载锁,但保留真空直至用户排出。通风只需要几秒钟。

真空或惰性气体转移胶囊(可选)

可选的真空胶囊允许您在真空或惰性气体下将样品转移到SEM。

chamber

SEM Mill的真空室在操作过程中保持连续真空。在样品交换期间,负载锁隔离高室真空环境,确保最佳的真空条件。

精确角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调节的离子源倾斜角度范围为0至+ 10°。使用左和右离子源控制调节离子源角。

您可以选择使用一个或两个Truefocus离子源。如果您使用的两个离子源,可以独立调整光束角度。

当两个离子束被引导到样品表面之一时,铣削速率加倍;这种能力对于诸如样品的平面抛光等应用是有用的。188金宝搏亚洲体育与真人20

自动铣削角度调整(可选)
使用触摸屏自动铣削角度调节是SEM磨机的可用选择。添加此功能使您可以创建多步铣削序列,包括在整个铣削过程中自动调节铣削角度。

可编程样品运动

样品旋转为360°,可变转速和样品摇摆功能。仪器自动感测样品厚度并建立铣削平面,最大化吞吐量。磁编码器提供绝对定位精度。

综合舞台冷却(可选)

虽然在低离子束能量的低角度铣削降低了样品加热,但对温度敏感的样品可能需要进一步冷却。样品台的液氮冷却是消除热伪影的有效方法。

SEM磨机的液氮系统具有位于外壳内的杜瓦尔,完全集成和互锁。杜瓦尔位于操作员附近,便于访问。有两个露华选项可供选择:用于在离子铣削期间需要3至5小时冷却的应用的标准杜瓦,或者在低温条件下需要18小时以188金宝搏亚洲体育与真人20上运行的应用。在触摸屏上连续显示温度。

可编程温度
SEM磨机提供了在环境和低温之间编程和维持特定温度的能力。

在低温温度结束时,在通风之前,阶段温度自动增加到环境温度,以避免样品霜冻和污染。

热保护装置可以编程到一个特定阶段的温度阈值,在此温度阈值时,如果杜瓦瓶中的液氮耗尽,离子源将被禁用。

自动终止

离子铣削过程可以通过经过时间或通过温度自动终止。

时间
计时器允许铣削继续一个预定的时间,然后关闭能量的离子源时,时间已经过去。样品保持在真空状态,直到负载锁排气孔。

温度
如果样品阶段达到预设温度,则与样品冷却系统相关的热保护将停止该过程。

原位样品观察

当使用可选的立体声或高倍显微镜时,离子铣削过程可以在铣削位置就地监测。

观察窗由快门保护,这可以防止可能会干扰样本观察的溅射材料的积聚。

立体显微镜(可选)
立体显微镜(7至45 x)增强样品观察。显微镜的长工作距离允许在铣削时以原位观察样品。

高倍显微镜(选配)
SEM磨机可以配置有525倍或1,960x的高倍率显微镜,耦合到CMOS相机和视频监视器,以在研磨期间查看样本并在原位捕获图像。该系统非常适合准备特定的网站样本。

样本照明
高倍和立体显微镜都有光源,提供自上而下,用户可调,反射样品照明。

触摸屏控制

触摸屏通过10英寸触摸屏进入铣削参数,可以物理定位到您的优选高度和视角。从触摸屏中,您可以控制各种仪器参数,例如离子束能量,铣削角度,样品运动,样品位置和工艺终端。

对于自动化,无人值守的操作,您可以编程一系列铣削序列。一种典型的方法是从快速铣削开始,去除大量的样品材料;然后,随着样品变薄,用较低的铣削速度抛光样品。这些铣削序列可以很容易地存储和回收,以备将来使用。

在铣削操作过程中,铣削顺序进度和仪表状态实时显示在触摸屏上。

高级功能包括用于管理示例数据,维护和日志文件和图像存储的工具。

对仪器配置、管理和诊断工具以及维护和日志文件的访问是通过授予不同用户级别的权限来控制的,并且需要登录凭证。

堆栈灯系统状态指示灯(可选)
可选的堆叠灯允许您从整个房间查看系统状态。

自动燃气控制

两个质量流量控制器为离子源的处理气体提供独立和自动调节。气体控制算法在各种离子源研磨参数上产生稳定的离子束。工艺气体是超高纯度(99.999%)氩气。

完全集成的干式真空系统

集成的真空系统包括由多级隔膜泵背衬的涡轮分子阻力泵。这种无油系统可确保样品处理的清洁环境。

因为气体要求TRUEFOCUS ION源很小,70 LPS涡轮分子阻力泵产生约5×10-4毫巴的操作系统真空。使用冷阴极,全范围计测量真空水平,并在触摸屏上连续显示。

最小维护

由于电离的效率,维护了TRUEFOCUS ION源是最小的和组件有一个非常长的寿命。从离子源溅射的材料是可以忽略的,最大限度地减少样品污染和组件维护。自动快门可防止飞溅的材料在观察窗口上堆积。所有系统部件都很容易进行日常清洗。

远程诊断
188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大的仪器正常运行时间。为此,SEM Mill内置了远程诊断功能。当连接到Internet时,可以通过Fischione Global Service远程访问SEM Mill,以快速排除故障和诊断支持。188bet体育国际

服务和预防性维护
要了解有关Fischione Globa188bet体育国际l Service的全面服务和预防性维护计划的更多信息,请联系188bet体育国际Fischione全球服务

*标准尺寸;其他尺寸可应要求提供。