型号1061

SEM穆勒
  • 快速铣削高能量操作;对于样品抛光低能量操作
  • 两个独立可调的TrueFocus离子源
  • 离子源保持其小的光束直径在宽范围的操作能量(100电子伏特至10千电子伏)
  • 可调10英寸的触摸屏,用于研磨参数简单设置一个友好的用户界面
  • 创建一个质朴的横截面样品横截面站(可选的)
  • 的0可调研磨角度范围到+ 10°
  • 在研磨过程中原位观看和图像捕获
  • 自动终止的时间或温度
  • 液氮冷却的样品台(可选)

先进的样品制备

的TrueFocus离子源对于当今的许多先进材料,通过SEM分析是快速学习材料结构和性能的理想方法。188bet体育国际Fischione Instruments的型号1061 SEM轧机是用于创建所需的SEM成像和分析的样品的表面特性的优秀工具。

接受大样本量

的SEM轧机接受以下样本大小:

横截面*
最大:0.39 X 0.39 X 0.157在(10×10×4.0毫米)。
最小:0.12 X 0.12 X 0.028在(3×3×0.7mm)上

平面
1.25在直径。在X 1。高度(32×25mm)的

自动样品厚度传感使吞吐量达到最大,而磁编码提供绝对定位精度。

横截面站(可选)
所述Fi188bet体育国际schione仪器截面站是用于创建准备在SEM轧机离子铣削原始横截面样品的工具。点击这里了解更多有关横截面站

快速样品转移

的SEM轧机的特征在于用于快速样品交换真空装载锁。负载锁定人体工程学设计;简单地提升负载锁定盖样品架装载到阶段。

负载锁定在几秒钟内发生更换盖和疏散。真空离子研磨期间固定在位负载锁定盖。电子控制的电梯然后移动样品进入研磨位置。

在研磨过程结束后,在真空下样品架返回到负载锁定,但保持,直到排出由该用户。通风只需要几秒钟。

在真空或惰性气体传送胶囊(可选)

一个可选的真空胶囊允许将样品在真空下或在惰性气体中转移到SEM。

商会

该SEM密尔的真空室在操作期间保持连续在真空下。负载锁样品交换期间隔离环境的高真空腔室,以确保最佳的真空条件。

精确的角度调整

离子源被倾斜,以提供所需的研磨角度。连续可调离子源的倾斜角度范围为0至+ 10°。离子源的角度使用左和右离子源控件调整。

您可以选择使用一个或两个的TrueFocus离子源。如果使用的是两个离子源,可以调节光束独立地角。

当两个离子束被引导至样品的表面中的一个,研磨速率被加倍;这个功能对于应用如样品的平面抛光有用。188金宝搏亚洲体育与真人20

自动研磨角度调整(可选)
使用触摸屏的自动研磨角度调整是用于SEM轧机可用选项。添加此功能,可以创建多步研磨序列,其包括在整个研磨过程中研磨角的自动调整。

可编程的采样运动

样品旋转360°以可变旋转速度和样品摇动特征。仪器自动感测所述样品的厚度,并建立研磨平面,其最大化吞吐量。一种磁性编码器提供绝对定位精度。

集成级冷却(可选)

虽然研磨在低角度下具有低离子束能量减少的样品加热,温度敏感的样品,可能需要进一步的冷却。液氮冷却样品台的是在消除热诱导的伪影是非常有效的。

该SEM密尔的液氮系统设有位于完全集成并互锁的外壳内的真空瓶。杜瓦瓶被定位操作为方便附近。两个杜瓦选项:对于需要3至5小时离子研磨,或用于需要18+小时的操作在低温条件下的应用程序的扩展杜瓦瓶时的冷188金宝搏亚洲体育与真人20却的应用的标准的杜瓦瓶。温度在触摸屏上连续显示。

可编程温度
扫描电镜厂提供的能力,计划和维护环境和低温之间的特定温度。

在在低温下研磨结束时,阶段温度自动放空,以避免样品霜冻和污染之前提高到环境温度。

热保障可以被编程以在其中,如果在杜瓦瓶液氮变为耗尽的离子源将被停用的特定阶段的温度阈值。

自动终止

离子铣削过程可以通过经过的时间或通过温度自动终止。

时间
定时器允许研磨继续一个预定的时间,然后关闭所述能量到离子源时,时间已过。直到负载锁被排出的样品保持在真空下。

温度
如果样品台达到预设温度与样品冷却系统相关的热保障将停止该过程。

原位样品观察

离子铣削过程可以在原位在研磨位置使用可选择立体声或高倍率的显微镜时进行监测。

观察窗由快门,其防止可与样本观察干涉溅射材料的积聚的保护。

立体显微镜(可选)
立体显微镜(7至45 X)增强样品观看。显微镜的长的工作距离允许原位被观察研磨的同时将样品。

高倍率显微镜(可选)
该SEM轧机可以与耦合到CMOS摄像机和视频监视器研磨期间,以查看在原位样品和捕获图像的525X或1,960X高倍率的显微镜进行配置。该系统是理想的准备站点特定的样品。

样品照明
无论是高倍率和立体显微镜具有提供自顶向下,用户可调节的,反射的样品照明光源。

触摸屏控制

触摸屏研磨参数经由10英寸的触摸屏,其可以在物理上定位成您的优选高度和视角输入。从触摸屏,可以控制各种各样的仪器参数,如离子束能量,研磨角,样本运动,样品位置,以及进程终止。

对于自动化,无人操作,可以编程一个系列铣削序列。一个典型的方法是首先快速研磨以去除更大量的样品材料;然后,作为样品变薄,低级研磨速率以抛光该样品。这些铣削序列可以方便地存储和调用以备将来使用。

在铣削操作,铣削序时进度和仪器状态显示在触摸屏上实时。

先进功能包括用于管理样本数据,维护和日志文件,和图像存储,以及远程访问,它允许你监督铣削操作通过远程计算机,如果SEM穆勒与您所在机构的内部网联网工具。

访问仪器的配置,管理和诊断工具,以及维护和日志文件,通过授予各种级别的用户权限控制,并需要登录凭据。

叠光系统状态指示器(可选)
可选的塔灯让你在房间里查看系统状态。

自动气体控制

两个质量流量控制器提供用于离子源的处理气体的独立和自动调节。气体控制算法产生稳定的离子束在各种各样的离子源研磨参数。该工艺气体是超高纯度(99.999%)的氩气。

完全集成的干式真空系统

集成的真空系统包括由多级隔膜泵支持的涡轮分子牵引泵。这种无油系统保证了样品处理干净的环境。

由于用气要求的TrueFocus离子源是小的,在70个LPS涡轮分子牵引泵产生大约5×10-4毫巴的操作系统真空。真空水平与冷阴极,全范围的计测得与在触摸屏上连续显示。

最少的系统维护

由于离子化的效率,维护的TrueFocus离子源是最小的,并且组件具有极长的寿命。材料从离子源溅射是可忽略的,从而最小化样品都污染和部件的维护。自动快门防止溅射材料的观看窗口上的积聚。所有系统组件是用于日常清洁方便。

远程诊断
188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大仪器的正常运行时间。为此,在SEM穆勒有内置的远程诊断功能,当连接到互联网,SEM穆勒可以远程通过Fischione全球服务进行快速故障排除和诊断支持访问。188bet体育国际

服务和预防性维护
要了解更多关于Fischione全球服务188bet体育国际的综合服务和预防性维护计划,接触188bet体育国际Fischione全球服务

*标准尺寸;其他尺寸可根据要求。