型号1061

SEM穆勒
  • 快速铣削高能量操作;对于样品抛光低能量操作
  • 两个独立可调的TrueFocus离子源
  • 离子源保持其小的光束直径在宽范围的操作能量(100电子伏特至10千电子伏)
  • 可调10英寸的触摸屏,用于研磨参数简单设置一个友好的用户界面
  • 创建原始截面样本与横截面站(可选的)
  • 可调铣削角度范围为0到+10度
  • 在现场观察和图像捕捉铣削
  • 自动终止时间或温度
  • 液氮冷却样台(选配)

先进的样品制备

的TrueFocus离子源对于当今的许多先进材料,SEM分析是快速研究材料结构和性能的理想技术。188bet体育国际Fischione仪器的1061型扫描电镜磨铣机是创建扫描电镜成像和分析所需的样品表面特征的优秀工具。

接受大样本量

的SEM轧机接受以下样本大小:

横截面*
最大:0.39 X 0.39 X 0.157在(10×10×4.0毫米)。
最小:0.12 X 0.12 X 0.028在(3×3×0.7mm)上

平面
1.25在直径。在X 1。高度(32×25mm)的

自动样品厚度传感最大限度地提高了吞吐量,而磁编码提供了绝对定位精度。

横截面站(可选)
Fisc188bet体育国际hione仪器的横截面站是一个工具,用于创建原始的横截面样品,准备在SEM磨粉机进行离子磨粉。点击这里了解更多关于横截面站

快速样品转移

SEM磨机的特点是真空负载锁,可以快速交换样品。负载锁采用人机工程学设计;只需提起装料锁盖,就可以把样品夹装到台上。

更换阀盖,几秒钟内就会撤离负载锁。真空在离子铣削期间确保负载锁盖到位。然后一个电子控制的电梯将样品移动到铣削位置。

在研磨过程结束后,在真空下样品架返回到负载锁定,但保持,直到排出由该用户。通风只需要几秒钟。

在真空或惰性气体传送胶囊(可选)

一个可选的真空胶囊允许将样品在真空下或在惰性气体中转移到SEM。

商会

SEM磨机的真空室在运行过程中保持连续真空状态。在样品交换期间,负载锁将高室真空与周围环境隔离,确保最佳的真空条件。

精确的角度调整

离子源被倾斜,以提供所需的研磨角度。连续可调离子源的倾斜角度范围为0至+ 10°。离子源的角度使用左和右离子源控件调整。

您可以选择使用一个或两个的TrueFocus离子源。如果使用的是两个离子源,可以调节光束独立地角。

当两个离子束被引导至样品的表面中的一个,研磨速率被加倍;这个功能对于应用如样品的平面抛光有用。188金宝搏亚洲体育与真人20

自动研磨角度调整(可选)
使用触摸屏的自动研磨角度调整是用于SEM轧机可用选项。添加此功能,可以创建多步研磨序列,其包括在整个研磨过程中研磨角的自动调整。

可编程的采样运动

样品旋转360°以可变旋转速度和样品摇动特征。仪器自动感测所述样品的厚度,并建立研磨平面,其最大化吞吐量。一种磁性编码器提供绝对定位精度。

集成级冷却(可选)

虽然在低角度和低离子束能量下铣削降低了样品的加热,但对温度敏感的样品可能需要进一步冷却。样品阶段的液氮冷却对消除热诱导伪影非常有效。

该SEM密尔的液氮系统设有位于完全集成并互锁的外壳内的真空瓶。杜瓦瓶被定位操作为方便附近。两个杜瓦选项:对于需要3至5小时离子研磨,或用于需要18+小时的操作在低温条件下的应用程序的扩展杜瓦瓶时的冷188金宝搏亚洲体育与真人20却的应用的标准的杜瓦瓶。温度在触摸屏上连续显示。

可编程温度
扫描电镜厂提供的能力,计划和维护环境和低温之间的特定温度。

在在低温下研磨结束时,阶段温度自动放空,以避免样品霜冻和污染之前提高到环境温度。

热保护装置可以编程到一个特定的阶段温度阈值,在此温度阈值处,如果杜瓦中的液氮耗尽,离子源将被停用。

自动终止

离子铣削过程可以通过经过的时间或通过温度自动终止。

时间
一个定时器允许铣削继续为一个预定的时间,然后关闭能量离子源时,时间过去了。样品保持在真空状态,直到负载锁通气为止。

温度
如果样品台达到预设温度与样品冷却系统相关的热保障将停止该过程。

现场样品观察

离子铣削过程可以在原位在研磨位置使用可选择立体声或高倍率的显微镜时进行监测。

观察窗由快门,其防止可与样本观察干涉溅射材料的积聚的保护。

立体显微镜(可选)
立体显微镜(7至45 X)增强样品观看。显微镜的长的工作距离允许原位被观察研磨的同时将样品。

高倍显微镜(选配)
该SEM轧机可以与耦合到CMOS摄像机和视频监视器研磨期间,以查看在原位样品和捕获图像的525X或1,960X高倍率的显微镜进行配置。该系统是理想的准备站点特定的样品。

样品照明
高倍显微镜和立体显微镜的光源都提供自上而下的、用户可调节的、反射的样品照明。

触摸屏控制

触摸屏研磨参数经由10英寸的触摸屏,其可以在物理上定位成您的优选高度和视角输入。从触摸屏,可以控制各种各样的仪器参数,如离子束能量,研磨角,样本运动,样品位置,以及进程终止。

对于自动化,无人值守的操作,您可以编程的一系列铣削序列。一种典型的方法是开始快速铣削以去除大量的样品材料;然后,随着样品变薄,用较低的研磨率来抛光样品。这些铣床序列可以很容易地储存和召回,以备将来使用。

铣削操作过程中,在触摸屏上实时显示铣削顺序进度和仪表状态。

先进功能包括用于管理样本数据,维护和日志文件,和图像存储,以及远程访问,它允许你监督铣削操作通过远程计算机,如果SEM穆勒与您所在机构的内部网联网工具。

通过授予不同用户级别的特权来控制对仪器配置、管理和诊断工具以及维护和日志文件的访问,并要求登录凭据。

叠光系统状态指示器(可选)
一个可选的堆栈灯允许您从整个房间查看系统状态。

自动气体控制

两个质量流量控制器提供用于离子源的处理气体的独立和自动调节。气体控制算法产生稳定的离子束在各种各样的离子源研磨参数。该工艺气体是超高纯度(99.999%)的氩气。

完全集成的干式真空系统

集成的真空系统包括由多级隔膜泵支持的涡轮分子牵引泵。这种无油系统保证了样品处理干净的环境。

由于用气要求的TrueFocus离子源是小的,在70个LPS涡轮分子牵引泵产生大约5×10-4毫巴的操作系统真空。真空水平与冷阴极,全范围的计测得与在触摸屏上连续显示。

最少的系统维护

由于电离的效率高,维持的的TrueFocus离子源是最小的和组件有一个非常长的寿命。从离子源溅出的材料是可以忽略不计的,尽量减少样品污染和组件维护。自动百叶窗防止飞溅的材料在观察窗口上堆积。所有系统组件都可以方便地进行日常清洗。

远程诊断
188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大的仪器运行时间。为此,SEM轧机有远程诊断能力内置。当连接到Internet时,可以通过Fischione全球服务远程访问SEM轧机,以提供快速的故障排除和诊断支持。188bet体育国际

服务和预防性维护
要了解更多关于Fischione全球服务188bet体育国际的综合服务和预防性维护计划,接触188bet体育国际Fischione全球服务

*标准尺寸;其他尺寸可根据要求。