型号1061

SEM轧机
  • 高速铣削的高能量操作;低能量的样品抛光操作
  • 两个独立可调TrueFocus离子源
  • 离子源在广泛的工作能量(100 eV到10 keV)范围内保持其小束直径。
  • 可调节的10英寸触摸屏与用户友好的界面,简单设置铣削参数
  • 创建原始的横截面样品横截面站(可选)
  • 可调的铣削角度范围0至+10°
  • 铣削过程中的现场观察和图像捕捉
  • 按时间或温度自动终止
  • 液氮冷却样品台(选配)

先进的样品制备

TrueFocus离子源对于当今许多先进的材料,扫描电镜分析是快速研究材料结构和性能的理想技术。188bet体育国际Fischione仪器公司的1061型SEM Mill是创建SEM成像和分析所需的样品表面特征的优秀工具。

接受大样本

SEM Mill接受以下样品尺寸:

截面*
最大:0.39 x 0.39 x 0.157英寸。(10x10x4.0毫米)
最小尺寸:0.12 x 0.12 x 0.028英寸。(3 x 3 x 0.7 mm)

平面
1.25英寸。直径x 1英寸。高度(32 x 25毫米)

自动样品厚度传感使产量最大化,而磁编码提供绝对的定位精度。

横截面站(可选)
Fisc188bet体育国际hione仪器的横截面工作站是一个工具,用于创建原始横截面样品,以便在SEM Mill中进行离子研磨。点击这里了解更多关于横截面站

快速样品转移

扫描电镜轧机特点真空负荷锁定快速样品交换。载荷锁符合人体工程学设计;只需提起加载锁盖,即可将样品支架加载到台上。

在几秒钟内,更换阀盖,卸载锁就会发生。在离子铣削过程中,真空将负载锁定盖固定到位。然后一个电控升降机将样品移动到铣削位置。

在铣削过程结束时,样品夹回到负载锁,但仍处于真空状态,直到用户排气。排气只需要几秒钟。

真空或惰性气体传输囊(选购)

一个可选的真空胶囊允许您在真空或惰性气体下转移样品到扫描电镜。

SEM磨机的真空室在操作过程中保持连续真空状态。在样品交换过程中,负载锁将高室真空与周围环境隔离,确保最佳真空条件。

精确的角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调的离子源倾角范围从0到+10°。使用左右离子源控制来调整离子源角度。

您可以选择使用其中一个或两个TrueFocus离子源.如果你同时使用两个离子源,你可以独立地调整光束角度。

当两束离子束都指向样品的一个表面时,铣削率增加了一倍;这种能力在样品的平面抛光等应用中很有用。188金宝搏亚洲体育与真人20

自动铣削角度调整(选配)
使用触摸屏自动铣削角度调整是SEM轧机的一个可用选项。添加此功能使您能够创建多步铣削序列,包括在铣削过程中自动调整铣削角度。

可编程示例运动

样品旋转360°,转速可变,样品摇摆功能。该仪器自动检测样品厚度,建立铣削平面,最大限度地提高加工效率。磁编码器提供绝对定位精度。

集成级冷却(选配)

虽然在低离子束能量的低角度下铣削降低了样品的加热,但温度敏感的样品可能需要进一步冷却。样品级的液氮冷却是非常有效的消除热引起的伪影。

SEM Mill的液氮系统的特点是杜瓦瓶位于外壳内,完全集成和连锁。杜瓦瓶放置在操作人员附近,便于使用。有两种杜瓦可供选择:用于离子研磨过程中需要3到5小时冷却的标准杜瓦,或用于在低温条件下需要18小时以上操作的188金宝搏亚洲体育与真人20延长杜瓦。温度在触摸屏上连续显示。

可编程的温度
SEM Mill提供了编程和维持环境和低温之间的特定温度的能力。

在低温研磨结束后,在排气前阶段温度自动升高至环境温度,以避免样品结霜和污染。

如果杜瓦瓶中的液氮耗尽,则可将热防护程序设定为一个特定的温度阈值,在此温度阈值下离子源将失效。

自动终止

离子研磨过程可以根据时间或温度自动终止。

时间
计时器允许碾磨持续预定的时间,然后当时间过去时关闭到离子源的能量。样品保持在真空状态,直到负载锁排气。

温度
当样品阶段达到预设温度时,与样品冷却系统相关联的热安全装置将停止这一过程。

原位样品观察

当使用可选的立体声或高倍显微镜时,可以在铣削位置原位监测离子铣削过程。

观察窗由百叶窗保护,以防止溅射材料的积聚,从而干扰样品观察。

立体显微镜(可选)
立体显微镜(7到45倍)增强样品观察。显微镜的工作距离很长,可以在铣削的时候观察样品。

高倍显微镜(选配)
SEM Mill可以配置一个525X或1960倍的高倍显微镜,耦合到CMOS摄像机和视频监视器,在铣削过程中查看样品和捕获图像。该系统是制备定点样品的理想选择。

样本照明
高倍放大率和立体显微镜的光源提供自上而下,用户可调,反射样品照明。

触摸屏控制

触摸屏铣削参数通过10英寸触摸屏输入,可以物理定位到您的首选高度和视角。从触摸屏,您可以控制各种仪器参数,如离子束能量,铣削角度,样品运动,样品位置,和过程终止。

对于自动化,无人值守的操作,您可以编程一系列的铣削序列。一种典型的方法是先快速铣削去除大量的样品材料;然后,随着样品变薄,以较低的铣削速率抛光样品。这些铣削序列可以很容易地存储和召回,以备将来使用。

铣削操作过程中,在触摸屏上实时显示铣削顺序进度和仪表状态。

先进的功能包括管理样本数据、维护和日志文件、图像存储以及远程访问的工具,如果SEM Mill与工厂的内部网联网,可以通过远程计算机监督铣削操作。

对仪器配置、管理和诊断工具、维护和日志文件的访问是通过授予不同用户级别的特权来控制的,需要登录凭据。

堆叠灯系统状态指示灯(可选)
一个可选的堆栈灯允许您从房间的另一端查看系统状态。

燃气自动控制

两个质量流量控制器为离子源提供独立和自动的工艺气体调节。气体控制算法产生稳定的离子束在各种各样的离子源铣削参数。工艺气体是超高纯度(99.999%)的氩气。

完全集成的干燥真空系统

该集成真空系统包括由多级隔膜泵支撑的涡轮分子阻力泵。这种无油系统保证了样品处理的清洁环境。

因为对气体的要求TrueFocus离子源由于体积小,70 LPS涡轮分子阻力泵产生的操作系统真空约为5 × 10-4 mbar。真空水平测量用冷阴极,全量程计,并连续显示在触摸屏上。

最小的维护

由于高效率的电离,保养性好TrueFocus离子源是最小的和组件有一个非常长的寿命。从离子源溅射出来的材料可以忽略不计,尽量减少样品污染和组件维护。自动快门可防止溅射材料在观察窗上积聚。所有系统组件都易于进行例行清洁。

远程诊断
188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大的仪器正常运行时间。为此,SEM Mill具有内置的远程诊断功能。当连接到互联网时,SEM Mill可以通过Fischione Global Service远程访问,以快速故障排除和诊断支持。188bet体育国际

服务和预防性维修
想了解更多关于Fischione全球服务188bet体育国际的全面服务和预防性维护计划,请联系我们188bet体育国际Fischione全球服务

*标准尺寸;其他尺寸可根据要求提供。