型号180

XTEM准备工具
  • 制作精密的透射电子显微镜横截面标本
  • 对齐感兴趣的区域
  • 产生一致的胶层厚度

制作精确的XTEM样品

XTEM准备工具包使得从大块材料感兴趣的区域获得的矩形晶圆很容易堆叠和粘合在一起。当真空兼容环氧树脂固化时,虎钳组件将晶圆固定在适当的位置。晶片堆叠随后取芯并切片成盘样。XTEM准备试剂盒生产的样品具有高水平的机械完整性和一致的胶层厚度。该试剂盒包括制作高质量的横截面标本所需的所有组件。

对齐感兴趣的接口

在透射电子显微镜研究界面时,关键是使感兴趣的界面平行于入射电子束。制备这种样品的一种方法是制作横截面样品。典型的截面试样包括半导体器件、具有薄膜层的试样和复合材料。