型号180

XTEM准备工具
  • 为透射电子显微镜制作精确的截面标本
  • 对齐感兴趣的区域
  • 产生一致的胶层厚度

制作精确的XTEM样品

XTEM预备套件使得从大块材料感兴趣的区域获得的矩形晶圆易于堆叠和粘合在一起。当真空兼容的环氧树脂固化时,一个虎钳组件将硅片固定在适当的位置。随后将该晶片堆取芯并分割成圆盘试样。XTEM Prep Kit生产的样品具有高水平的机械完整性和一致的胶层厚度。该套件包括生产高质量的截面标本所需的所有组件。

对齐感兴趣的界面

对于用透射电子显微镜研究界面,将感兴趣的界面平行于入射电子束排列是至关重要的。制备这种样品的一种方法是制作横截面样品。典型的截面试样包括半导体器件、薄膜层试样和复合材料。