型号1080

PicoMill®TEM样品制备系统

最佳TEM样品制备完成第一次对吗

  • 达到最终的样品质量-无非晶和植入层
  • FIB技术的补充
  • 不引入人工制品的铣削
  • 先进的成像探测器技术和精确的端点检测
  • 用离子和电子进行原位成像
  • 显微镜连接性可实现无风险样本处理
  • 增加功能和容量
  • 快速、可靠、使用方便

fib后处理产生了最高质量的TEM样品

聚焦离子束(FIB)铣削是当今尖端材料广泛使用的技术,它为制备透射电子显微镜(TEM)试样提供了一种手段。使用这些先进材料的挑战是制作电子透明且无伪影的标本。FIB在制备TEM样品时非常有效,但使用高能液态金属离子源通常会导致样品非晶化、镓注入或两者兼而有之。

PicoMill系统是对FIB技术的理想补充;它增加了生产最佳试样质量的能力,同时通过离线移动最终细化,提高了整体试样制备吞吐量。

让小谎做小谎最擅长的事;让PicoMill系统完成剩下的工作

为了最大限度地提高FIB容量,可以在PicoMill系统上脱机移动试样进行最终稀释。PicoMill系统能够精确且可预测地稀释试样,从而减少返工的可能性并优化试样处理时间。这将通过生产高质量的样本来提高您的能力,并提高整体样本制备吞吐量。

PicoMill系统将允许您实现第一次对吧每次标本制备。

现场专用、超低能铣削

PicoMill系统的离子源具有丝状电离室和静电透镜的特点。该离子源是专门为产生亚微米离子束直径的超低离子能量而研制的。它使用惰性气体(氩气),工作电压范围为50 eV至2 kV。

离子源的反馈控制算法在各种铣削参数下自动产生稳定和可重复的离子束条件。由于离子束可以聚焦到特定的区域,因此避免了溅射材料在感兴趣的区域上的再沉积。您可以扫描样品表面的一个区域或目标特定区域进行选择性铣削。离子只接触标本上感兴趣的地方,在那里它们需要做的工作。离子束远离栅极,防止了再沉积。

精密铣削角度调整

离子束撞击角度可编程范围为-15°至+90°。离子源固定到位,测角仪通过PicoMill系统用户界面倾斜试样架以实现编程铣削角度。将试样沿X、Y和Z轴定位,以相对于离子束和电子束精确定位FIB薄片。

以低入射角(<10°)铣削试样可将损伤和试样加热降至最低。由于低角度铣削与离子束光栅化相结合,有利于异种材料的均匀减薄,因此在制备层状结构或复合材料时非常有益。

原位成像

为了补充扫描电子柱,PicoMill系统具有多个探测器:

  • A.背散射电子探测器(BSE)用于电子原位成像

  • A.二次电子探测器(SED)用于原位离子和电子成像

  • A.扫描和透射电子探测器(STEM)用于电子透明和端点检测

探测器组合允许您在离子研磨之前、期间和之后对样品进行原位成像。在常规制备的试样上,含有FIB薄片或特定部位的网格可以成像。

您可以在一个显示电子和离子诱导二次电子图像的专用监视器上原位查看样本。图像捕获就像点击鼠标一样简单。

端点检测/过程终止

制备具有最佳电子透明度的样品是获得最佳质量TEM成像和分析的最终目标。这在采用当今像差校正TEM技术时尤为关键。

随着试样变薄,电子传输增加,前缘后退,这使得杆检测器能够提供端点信息。PicoMill系统还可以基于时间终止,也可以手动停止。

显微镜连接减少标本处理

在PicoMill系统和TEM中使用相同的支架的能力意味着您可以快速、安全地将磨碎的样品从PicoMill系统运送到TEM,这在处理独一无二的样品时尤其有利。

PicoMill是E.a.Fischione Instruments,Inc.的注册商188bet体育国际标。PicoMilling是E.a.Fischione Instruments,Inc.的服务商标。