型号1080

PicoMill®TEM样品制备系统

完成了最佳TEM样品制备第一次对吧

  • 达到最终的标本质量-无无定形和植入层
  • 补充FIB技术
  • 铣削不引入工件
  • 先进的成像检测技术和精确的端点检测
  • 离子和电子的原位成像
  • 无风险标本处理的显微镜连接性
  • 增加能力和容量
  • 快速、可靠、使用方便

fib处理后产生最高质量的透射电镜样品

聚焦离子束(FIB)铣削是一种广泛应用于当今尖端材料的技术,它为透射电子显微镜(TEM)样品的制备提供了手段。使用这些先进材料的挑战是创建电子透明的标本,并且不受人工制品的影响。FIB在制备透射电镜样品时是非常有效的,但使用高能液态金属离子源往往会导致样品的非晶化、镓注入,或两者兼备。

PicoMill系统是FIB技术的理想补充;它增加了生产最佳样品质量的能力,同时通过移动最终细化离线提高了整体样品制备吞吐量。

让FIB做FIB最擅长的事;让PicoMill系统完成剩下的工作

为了最大限度地提高FIB容量,试件可以脱机移动,最后在PicoMill系统上细化。PicoMill系统提供了精确和可预测的细化样品的能力,这减少了返工的可能性,并优化了样品处理时间。这增加了您的能力,通过生产高质量的样品,并提高了总体样品制备吞吐量。

PicoMill系统将允许您实现第一次对吧每次标本制备。

特定场地,ultra-low-energy铣

PicoMill系统的离子源采用了一个基于灯丝的电离室和静电透镜。离子源是专门开发的,以产生亚微米离子束直径的超低离子能量。它使用惰性气体(氩气),工作电压范围为50 eV至2 kV。

离子源的反馈控制算法自动产生稳定和可重复的离子束条件下的铣削参数广泛。由于离子束可以聚焦到特定的区域,因此溅射材料可以避免再沉积到所关注的区域上。你可以扫描样品表面的一个区域,或者针对一个特定区域进行选择性铣削。离子只接触到样品上需要它们做功的地方。离子束远离栅极,这防止了再沉积。

精密铣削角度调整

离子束撞击角度可编程从-15°到+90°。离子源固定在位置上,角度计倾斜试样支架,通过PicoMill系统用户界面实现编程铣削角度。样品沿着X, Y和Z轴定位,以精确定向FIB薄片与离子束和电子束。

铣削试样在一个低角度(< 10°)最大限度地减少损伤和试样加热。由于低角度铣削结合离子束光栅化,有利于不同材料的均匀细化,在制备层状结构或复合材料时非常有利。

原位成像

为了补充扫描电子柱,PicoMill系统有多个探测器:

  • 一个后向散射电子探测器(BSE)用于电子原位成像

  • 一个二次电子探测器(SED)用于离子和电子的原位成像

  • 一个扫描和透射电子探测器(STEM)用于电子透明和端点检测

该探测器组合允许您在离子研磨之前、期间和之后对样品进行原位成像。含有FIB薄片的网格或常规制备的标本上的特定位置可以被成像。

你可以在一个专门的显示器上看到样品的原位显示电子和离子诱导的二次电子图像。图像捕获就像点击鼠标一样简单。

端点检测/过程终止

获得最佳电子透明度的样品是获得最佳质量TEM成像和分析的最终目标。这在使用现今的像差校正TEM技术时尤为关键。

随着样品变薄,电子传输增加,前缘后退,这使得STEM探测器可以提供终点信息。PicoMill系统也能够基于时间的终止,或者可以手动停止。

显微镜的连通性减少了标本的处理

在PicoMill系统和TEM中使用相同的支架的能力意味着您可以快速和安全地将研磨后的样品从PicoMill系统传输到TEM,这在您使用独一无二的样品时特别有利。

PicoMill是E.A. Fischione Instruments, Inc.的注188bet体育国际册商标。PicoMilling是E.A. Fischione Instruments188bet体育国际, Inc.的服务标志。