型号1080

PicoMill®TEM样品制备系统

最佳TEM样本准备完成第一次对

  • 实现终极标本质量 - 没有非晶和植入层
  • 补充FIB技术
  • 铣削而不引入伪影
  • 先进的检测技术,成像和精确的端点检测
  • 离子和电子的原位成像
  • 无风险标本处理的显微镜连通性
  • 增加能力和容量
  • 快速、可靠、易于使用

fib后处理产生最高质量的TEM标本

聚焦离子束(FIB)铣削是当今尖端材料的广泛使用的技术,其提供制备透射电子显微镜(TEM)样本的方法。使用这些先进材料的挑战是创建作为电子透明的标本,并且没有伪影。FIB在制备TEM标本方面具有高效,但使用高能,液态金属离子源通常可以导致样品非晶化,镓植入或两者。

PicoMill系统是FIB技术的理想补充;它增加了生产最优样品质量的能力,同时通过移动最终细化离线提高整体样品制备吞吐量。

让FiB做FIB最好的东西;让Picomill系统休息

为了最大化FIB容量,可以在PICOMILL系统上离线移动标本以进行最终变薄。Picomill系统提供精确和可预测地薄的样本的能力,这降低了返工的可能性并优化样本处理时间。这通过生产卓越品质并增强整体样品制备产量来提高您的能力。

Picomill系统将允许您实现第一次对每次都准备样品。

特定网站,超低能量铣削

PicoMill系统的离子源有一个基于细丝的电离室和静电透镜。这个离子源是专门用来产生亚微米离子束直径的超低离子能量的。它使用惰性气体(氩气),工作电压范围为50 eV至2 kV。

该离子源的反馈控制算法自动产生稳定和可重复的离子束条件,在各种铣削参数。由于离子束可以聚焦到特定的区域,因此避免了溅射材料在感兴趣的区域上的再沉积。你可以扫描一个区域的样品表面或目标的特定区域进行选择性铣削。离子只接触样品上需要它们做工作的感兴趣的位置。离子束远离栅极,防止再沉积。

精确铣削角度调整

离子束撞击角可编程为-15°至+ 90°。离子源固定在适当位置,测筒仪倾向于通过Picomill系统用户界面实现编程铣削角度。试样沿X,Y和Z轴定位,以精确地将FIB薄片相对于离子和电子束定位。

铣削样品在低入射角(少于10°)最大限度地减少损伤和样品加热。由于低角度铣削,结合离子束光栅,有利于不同材料的均匀细化,它在制备层状结构或复合材料时非常有利。

原位成像

要补充扫描电子柱,Picomill系统具有多个探测器:

  • 一种反向散射电子探测器(BSE)用于与电子的原位成像

  • 一种二次电子检测器(SED)用于离子和电子的原位成像

  • 一种扫描/透射电子检测器(STEM)用于电子透明和端点检测

检测器组合允许您在离子铣削之前,期间和之后的样品的原位成像。可以成像含有FIB薄皮叶片或特定位点的栅格。

您可以在专用监视器上查看原位的标本,以显示电子和离子引起的二次电子图像。图像捕获与单击鼠标一样简单。

端点检测/过程终止

用最佳电子透明度制备的样本是最佳质量的TEM成像和分析的最终目标。当采用当今的像差校正的TEM技术时,这是尤为键。

作为样品滤波,电子传输增加并且前沿回收,其允许阀杆检测器提供终点信息。Picomill系统也能够基于时间的终止,或者可以手动停止。

显微镜连接减少了样品的处理

在PicoMill系统和TEM中使用相同的夹具意味着可以快速、安全地将研磨后的样品从PicoMill系统运输到TEM中,这在处理独一无二的样品时尤为有利。

Picomill是E.A的注册商标。188bet体育国际Fischione Instruments,Inc。Picomilling是E.A的服务标记。188bet体育国际Fischione Instruments,Inc。