真聚焦离子源

真聚焦离子源

188bet体育国际随着下一代离子源技术的引入,Fischione的创新历史得以延续。我们获得专利的TrueFocus离子源现在经过优化,可以在100%的电离效率下工作,其结果是一种高效的离子源,能够保持恒定的束流。此技术内置于1051型瞬变电磁轧机1061型扫描电镜轧机.

TrueFocus离子源即使在较低的加速电压下也保持较小的离子束直径,这意味着离子仅指向样品,溅射材料不会从样品架或室重新沉积到样品上。

加速电压是可编程的,可以连续变化,从高达10 keV的快速铣削到低至100 eV的最终样品抛光。离子源在物理上很小,需要的气体也很少,但是可以提供很宽的离子束能量范围。可以将控制直径的离子束定向到一个或两个试样表面。

当在较高的能量范围内操作时,铣削速度很快,即使是在较低的角度。当在低能量下工作时,材料从样品中逐渐溅射而不产生伪影。

TrueFocus离子源易于日常维护。