保罗Fis188bet体育国际chione和迈克尔Boccabella接受显微今天创新奖从显微镜今天编辑在院长查尔斯·E·莱曼模型1080PicoMill®TEM样品制备系统。
188bet体育国际Fischione的革命型号1080PicoMill®TEM样品制备系统用显微镜Today杂志评选为2015年的显微镜今天创新奖的获得者。创新奖获得者宣布2015年8月5日在显微镜和微量年会上，波特兰，俄勒冈。这标志着第三显微镜今天创新奖赢得Fischione仪器。188bet体育国际
由于PicoMill系统的开发者，迈克尔Boccabella和Fischione Instruments的首席执行官Pau188bet体育国际l Fischione到场领奖。
在更高质量的像差校正透射电子显微镜（TEM）的需求标本进展，以获得最佳的高清晰度图像。增加用于TEM的制备中使用聚焦离子束（FIB）系统的标本导致Fischione仪器开发设备，以提高常规和FIB制备的试样的质量。188bet体育国际所述PicoMill系统增加了改进的成像能力，精确端点检测，和更好的连接到TEM。
所述PicoMill系统提供的使用位点特异性的，超低能量标本最终变薄，惰性气体离子铣削。该系统的亚微米离子束直径，加上一个低铣削角度，允许靶向感兴趣的特定区域，材料的防止再沉积到试样表面的，并且产生不同材料的均匀减薄。
即使在离子铣削过程中，扫描电子束也能提供薄片的SEM成像(使用背散射电子或二次电子)，而二次电子探测器(SED)也能提供离子束成像。样品下方的电子检测器可实现电子透明度的端点检测和定量。PicoMill系统包括一个teme风格的侧入式测角器，它使用一个与大多数TEMs兼容的特殊设计的标本夹持器。这意味着样品可以在不需要操作的情况下从PicoMill系统快速安全地运输到TEM。
大容量的企业，例如半导体制造商，经常使用FIB系统来处理大量的TEM样品。这些FIBs使用高能量离子来快速处理样品，但这通常会导致样品的损伤——非晶化和镓的植入。对于需要高质量制备的TEM样品，PicoMill系统向样品提供超低离子束能量(低至50 eV)。
该PicoMill系统非常适合于微电子应用。188金宝搏亚洲体育与真人20缩小尺寸和在微电子系统日益复杂的几何形状，例如在试样制备技术三维的FinFET的栅极结构和垂直NAND门，地点额外要求。这些装置具有与可能包含重复的氧化物，硅化物，氮化物层结构，和高k和低k介电材料的混合不同材料。这样的设备通常采用具有非常不同的溅射率的材料，并且在同一时间，可能具有仅仅几个原子的层厚度。
PicoMill是E.A.的注册商标。188bet体育国际Fischione仪器公司