型号1062

TrionMill
  • 三个独立可调TrueFocus离子源
  • 平面样品尺寸可达50毫米直径25毫米高度
  • 在广泛的工作能量范围内(100 eV至10 keV)可控制光束直径
  • 液氮冷却样品台(选配)
  • 真空/惰性气体/低温传输系统保护环境敏感样品(选配)
  • 远程操作

先进的样品制备

188bet体育国际Fischione仪器公司的1062 TrionMill模型是创建SEM成像和分析所需的样品表面特征的优秀工具。

TrionMill的三个离子源提供了平面和截面样品的大规模铣削。高能操作,可快速铣削大面积(高达50毫米);低能量操作允许温和的样品抛光。

接受大样本

TrionMill创造了最大和最均匀的平坦区域,可实现离子研磨。本仪器接受下列样本数目:

  • 平面:高达50毫米直径x 25毫米高度[1.968 x 0.787英寸]
  • 横截面:最大尺寸:10 x 10 x 4 mm [0.39 x 0.39 x 0.157 in.]

横截面站(可选)

Fisc188bet体育国际hione仪器的横截面工作站是一个工具,用于创建原始横截面样品,以便在SEM Mill中进行离子研磨。了解更多有关横截面站

快速样品转移

前置式气动真空闸阀锁紧负载,样品吞吐量高。卡口样品持有人的快速释放功能加快样品转移。样品传递杆在不使用时折出挡道。

精确的角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调的离子源倾角范围从0到+10°。您可以选择使用一个、两个或三个trufocus离子源。每个离子源光束角度的移动是一致的。

自动铣削角度调整
使用触摸屏自动铣削角度调整,使您能够创建多步铣削序列,包括铣削过程中铣削角度的自动调整。

可编程示例运动

样品旋转360°连续旋转,转速可变,具有样品摇摆功能。自动高度检测建立铣削平面,产生可重复的结果。

集成级冷却(选配)

TrionMill的液氮系统的特点是杜瓦瓶位于外壳内,完全集成和连锁。杜瓦瓶放置在操作人员附近,便于使用。温度在触摸屏上连续显示。阶段冷却功能提供高达18小时的低温条件。

可编程的温度

TrionMill能够编程并维持环境和低温之间的特定温度。

在低温研磨结束后,在排气前阶段温度自动升高至环境温度,以避免样品结霜和污染。如果杜瓦瓶中的液氮耗尽,则可将热防护程序设定为一个特定的温度阈值,在此温度阈值下离子源将失效。

真空/惰性气体/低温输送系统(选购)

该系统允许在真空、惰性气体或低温下将样品直接转移到SEM或FIB。该系统使用主动泵送,以保持高真空在传输期间。转移系统是与Quorum科技有限公司合作的。

样品查看(可选)

当使用任意一种可选的高倍显微镜时,可以在铣削位置原位监测离子铣削过程。

  • 高倍率显微镜(525 x)
  • 高倍率显微镜(1960 x)

观察窗由百叶窗保护,以防止溅射材料的积聚,从而干扰样品观察。

样本图像采集(可选)

样品图像采集选项采用CMOS(互补金属氧化物半导体)摄像机和监视器,在铣削过程中查看样品并捕获图像。该系统可用于监控脱层过程。

自动终止

离子研磨过程可以根据时间或温度自动终止。

远程诊断

188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大的仪器正常运行时间。为此,TrionMill具备远程诊断的能力。当TrionMill连接到互联网时,可以通过Fischione仪器服务访问TrionMill,以提供快速故障排除和诊断支持。188bet体育国际