型号1062

TrionMill
  • 三个独立可调TrueFocus离子源
  • 平面样品尺寸可达50毫米直径,25毫米高度
  • 在大范围操作能量(100 eV到10 keV)下可控制光束直径
  • 液氮冷却样品阶段(可选)
  • 真空/惰性气体/低温传输系统保护环境敏感样品(可选)
  • 远程操作

高级样品准备

188bet体育国际Fischione Instruments公司的1062型TrionMill是一款出色的工具,可用于生成SEM成像和分析所需的样品表面特征。

TrionMill的三个离子源提供大规模铣削平面和横截面样本。高能量操作允许快速铣削大面积(高达50毫米);低能量操作允许温和样品抛光。

接受大样本

TrionMill可以通过离子铣削实现最大和最均匀的平面区域。仪器接受以下样本尺寸:

  • 平面:高达50毫米直径x 25 mm高度[1.968 x 0.787英寸]
  • 横截面:最大:10 x 10 x 4毫米[0.39 x 0.39 x 0.157英寸]

横截面站(可选)

Fisc188bet体育国际hione Instruments的横截面站是一种工具,可以创建原始的横截面样品,以便在SEM磨机中进行离子铣削。了解更多有关横截面站

快速样品转移

前加载负载锁定与气动真空闸阀,使高样品吞吐量。卡口样品架的快速释放功能加快了样品转移。

精确角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调的离子源倾斜角度范围从0到+10°。您可以选择使用一个、两个或三个TrueFocus离子源。每个离子源光束的角度都是一致的。

自动铣削角度调整
使用触摸屏自动铣削角度调整使您可以创建多步研磨序列,包括在整个铣削过程中自动调节铣削角度。

可编程示例运动

样品旋转为360°连续旋转,转速可变,具有样品摇摆特性。自动高度检测建立铣削平面,产生可重复的结果。

集成级冷却(选配)

TrionMill的液氮系统的特点是一个位于外壳内的杜瓦瓶,完全集成和联锁。杜瓦瓶被放置在靠近操作者的地方,方便使用。温度连续显示在触摸屏上。阶段冷却功能提供高达18小时的低温条件。

可编程的温度

TrionMill提供了编程和保持在环境和低温之间的特定温度的能力。

在低温温度结束时,在通风之前,阶段温度自动增加到环境温度,以避免样品霜冻和污染。如果杜瓦尔中的液氮变耗,则可以将热保护器编程为特定阶段温度阈值,其中如果液氮中的液氮耗尽,则将离子源失活。

真空/惰性气体/低温传输系统(可选)

该系统允许在真空、惰性气体或低温下将样品直接转移到扫描电镜或FIB。在输送过程中,系统采用主动泵送来保持高真空。该转让系统是与Quorum技术有限公司合作的。

样品查看(可选)

当使用任意一种可选的高倍显微镜时,可以在铣削位置现场监测离子铣削过程。

  • 高倍率显微镜(525 x)
  • 高倍率显微镜(1960 x)

观察窗由百叶窗保护,以防止溅射材料的堆积干扰样品观察。

采样图像采集(可选)

样品图像采集选项采用CMOS(互补金属氧化物半导体)摄像机和监视器,在铣削过程中查看样品并就地捕获图像。这个系统对于监控去层次过程是有用的。

自动终止

离子铣削过程可以根据时间或温度自动终止。

远程诊断

188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大的仪器正常运行时间。为此,TrionMill具备远程诊断能力。当连接到互联网时,TrionMill可以通过Fischione仪器服务访问,以提供快速故障排除和诊断支持。188bet体育国际