型号1061.

SEM磨机
  • 快速铣削的高能量操作;用于样品抛光的低能量操作
  • 两个独立的可调Truefocus离子源
  • 离子源在各种操作能量(100eV至10kev)上保持其小光束直径
  • 可调节的10英寸触摸屏,具有用户友好的界面,用于简单的铣削参数设置
  • 使用营销原始横截面样本横截面站(可选的)
  • 可调节铣削角度范围为0至+ 10°
  • 在铣削期间,原位查看和图像捕获
  • 通过时间或温度自动终止
  • 液氮冷却样品阶段(可选)

高级样品准备

Truefocus Ion源对于许多今天的先进材料,SEM的分析是一种快速研究材料结构和性能的理想技术。188bet体育国际Fischione Instruments's Model 1061 SEM磨机是创建SEM成像和分析所需的样品表面特性的绝佳工具。

接受大型样本尺寸

SEM磨机接受以下样本尺寸:

横截面*
最大值:0.39 x 0.39 x 0.157英寸(10 x 10 x 4.0 mm)
最小值:0.12 x 0.12 x 0.028英寸(3 x 3 x 0.7 mm)

平面
1.25 in。直径x 1英寸高度(32 x 25 mm)

自动采样厚度检测最大化吞吐量,而磁编码提供绝对定位精度。

横截面站(可选)
Fisc188bet体育国际hione Instruments的横截面站是用于在SEM磨机中创建准备用于离子铣削的原始横截面样品的工具。点击这里了解更多有关的信息横截面站

快速样品转移

SEM磨机采用真空载荷锁,用于快速采样交换。载荷锁定是符合人体工程学的;只需抬起负载锁盖即可将样品保持器装入舞台上。

更换盖子并撤离负载锁定在几秒钟内发生。真空在离子铣削期间将负载锁盖固定到位。然后将电子控制的电梯移动到铣削位置。

在铣削过程的结论中,样品架返回负载锁,但保留在真空下直至由用户排出。通风只需要几秒钟。

真空或惰性气体转移胶囊(可选)

可选的真空胶囊允许您在真空或惰性气体下将样品转移到SEM。

chamber

SEM磨机的真空室在操作期间保持连续真空。在样品交换期间,负载锁定在环境中与环境真空隔离,确保最佳的真空条件。

精确角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调节的离子源倾斜角度范围为0至+ 10°。使用左和右离子源控制调节离子源角。

您可以选择使用一个或两个Truefocus离子源。如果您使用的是两个离子源,可以独立调整光束角度。

当两个离子束导向样品表面之一时,铣削速率加倍;这种功能对于样本的平面抛光等应用是有用的。188金宝搏亚洲体育与真人20

自动铣削角度调整(可选)
使用触摸屏自动铣削角度调整是SEM磨机的可用选项。添加此功能使您可以创建多步铣削序列,包括在整个铣削过程中自动调整铣削角度。

可编程样品运动

样品旋转为360°,可变转速和样品摇摆功能。该仪器自动检测样品厚度并建立铣削平面,最大化吞吐量。磁编码器提供绝对定位精度。

综合舞台冷却(可选)

虽然具有低离子束能量的低角度铣削减少了样品加热,但温度敏感的样品可能需要进一步冷却。样品阶段的液氮冷却在消除热诱导的伪影方面非常有效。

SEM磨机的液氮系统具有位于外壳内的杜瓦尔,完全集成和互锁。杜瓦尔位于操作员附近,便于访问。有两个露天选择:用于在离子铣削期间需要3至5小时冷却的应用的标准杜瓦,或者在低温条件下需要18小时以上运行的188金宝搏亚洲体育与真人20应用。在触摸屏上连续显示温度。

可编程温度
SEM磨机提供了在环境和低温之间进行编程和维持特定温度的能力。

在低温温度结束时,在通风之前,阶段温度自动增加到环境温度以避免样品霜冻和污染。

可以将热保护器编程为特定阶段温度阈值,如果杜瓦尔中的液氮耗尽,则离子源将被停用。

自动终止

离子铣削过程可以通过经过的时间或温度自动终止。

时间
计时器允许铣削以继续预定时间,然后在时间经过时将能量关闭到离子源。样品保持在真空下,直到装载锁定通风。

温度
如果样品阶段达到预设温度,则与样品冷却系统相关的热保障将停止该过程。

原位样本查看

使用任选的立体声或高倍率显微镜,可以在铣削位置原位监测离子铣削过程。

观察窗由快门保护,这可以防止可能会干扰样本观察的溅射材料的积聚。

立体显微镜(可选)
立体显微镜(7至45 x)增强样品观察。显微镜的长工作距离允许在铣削时以原位观察样品。

高倍率显微镜(可选)
SEM磨机可以配置有525倍或1,960x的高倍率显微镜,耦合到CMOS相机和视频监视器,以在研磨期间查看样本并在原位捕获图像。该系统非常适合准备特定的特定样本。

样本照明
高倍率和立体声显微镜都有光源,提供自上而下的用户可调,反射的样本照明。

触摸屏控制

触摸屏通过10英寸触摸屏进入铣削参数,可以物理地定位在优选的高度和视角。从触摸屏中,您可以控制各种仪器参数,例如离子束能量,铣削角度,样品运动,样品位置和工艺终止。

对于自动化,无人值守操作,您可以编程一系列铣削序列。典型的方法是开始快速铣削以除去较大量的样品材料;然后,作为样品染色,较低的铣削速率以抛光样品。这些铣削序列可以很容易地存储和召回以供将来使用。

在铣削操作期间,铣削序列进度和仪器状态在触摸屏上实时显示。

高级功能包括用于管理样品数据,维护和日志文件以及图像存储以及远程访问的工具,允许您通过远程计算机监督铣削操作,如果SEM磨机与您的工厂的内部网联网。

访问仪器配置,管理和诊断工具以及维护和日志文件,通过授予各种用户级别并需要登录凭据。

堆栈灯系统状态指示灯(可选)
可选的堆栈灯允许您从整个房间查看系统状态。

自动燃气控制

两个质量流量控制器为离子源的处理气体提供独立和自动调节。气体控制算法在各种离子源研磨参数上产生稳定的离子束。工艺气体是超高纯度(99.999%)氩气。

完全集成的干式真空系统

集成的真空系统包括由多级隔膜泵背衬的涡轮分子拖曳泵。这种无油系统可确保样品处理的清洁环境。

因为气体要求Truefocus Ion源小型,70 LPS涡轮分子阻力泵产生约5×10-4毫巴的操作系统真空。用冷阴极,全范围计测量真空水平,并在触摸屏上连续显示。

最小的维护

由于电离的效率,维护Truefocus Ion源是最小的,部件具有极长的寿命。从离子源溅射的材料可忽略不计,最小化样品污染和组件维护。自动化窗口可防止在观察窗口上溅射的溅射材料。所有系统组件都可以轻松访问常规清洁。

远程诊断
188bet体育国际Fischione Instruments致力于支持最大仪器正常运行时间。为此,SEM磨机内置了远程诊断功能。连接到Internet时,可以通过Fischione全局服务远程访问SEM磨机,以进行快速故障排除和诊断支持。188bet体育国际

服务和预防性维护
要了解有关Fischione全球服务的全188bet体育国际面服务和预防性维护计划的更多信息,请联系188bet体育国际Fischione全球服务

*标准尺寸;其他尺寸可应要求提供。