型号1061

SEM轧机
  • 高能操作快速铣削;样品抛光能耗低
  • 两个独立可调TrueFocus离子源
  • 离子源在较宽的工作能量范围内(100 eV至10 keV)保持着较小的束流直径。
  • 可调节的10英寸触摸屏,用户友好的界面,简单设置铣削参数
  • 用备份创建原始横截面样本横截面站(可选)
  • 可调的铣削角度范围0到+10°
  • 在铣削期间,原位查看和图像捕获
  • 按时间或温度自动终止
  • 液氮冷却样品阶段(可选)

先进的样品制备

TrueFocus离子源对于许多今天的先进材料,SEM的分析是快速研究材料结构和性能的理想技术。188bet体育国际Fischione Instruments's Model 1061 SEM磨机是创建SEM成像和分析所需的样品表面特性的绝佳工具。

接受大样本容量

SEM Mill接受以下样品尺寸:

截面*
最大尺寸:0.39 × 0.39 × 0.157英寸。(10 x 10 x 4.0 mm)
最小:0.12 × 0.12 × 0.028英寸。(3 x 3 x 0.7 mm)

平面
1.25英寸。直径x 1英寸。高度(32 x 25毫米)

自动采样厚度检测最大化吞吐量,而磁编码提供绝对定位精度。

横截面站(可选)
Fisc188bet体育国际hione Instruments'横截面站是用于在SEM磨机中创建准备好用于离子铣削的原始横截面样品的工具。点击这里了解更多有关的信息横截面站

快速样品转移

SEM磨机采用真空载荷锁,用于快速采样交换。载荷锁定是符合人体工程学设计的;只需抬起负载锁盖即可将样品保持器装入舞台上。

更换盖子,并在几秒钟内发生负载锁定发生。真空在离子铣削期间将负载锁盖固定到位。然后将电子控制的电梯移动到铣削位置。

在铣削过程结束时,样品架返回到负载锁,但仍处于真空状态,直到用户排气。排气只需要几秒钟。

真空或惰性气体传送囊(可选)

一个可选的真空胶囊允许您将样品转移到真空或惰性气体下的SEM。

SEM磨机的真空室在操作期间保持在连续真空下。在样品交换期间,负载锁定在环境中与环境真空隔离,确保最佳的真空条件。

精确的角度调整

离子源倾斜以提供所需的铣削角度。连续可调离子源倾斜角度范围从0到+10°。离子源角度调整使用左右离子源控制。

您可以选择使用其中之一或同时使用TrueFocus离子源.如果你使用两个离子源,你可以独立调整光束角度。

当两束离子束指向其中一个样品的表面时,铣削速率翻倍;这种能力是有用的应用,如平面抛光样品。188金宝搏亚洲体育与真人20

自动铣削角度调整(选购)
使用触摸屏自动调整铣削角度是扫描电镜轧机的一个可用选项。添加此功能使您能够创建多步铣削序列,包括在整个铣削过程中自动调整铣削角度。

可编程示例运动

样品旋转360°,转速可变,样品摇摆功能。该仪器自动感知样品厚度,并建立铣削平面,使产量最大化。磁编码器提供绝对定位精度。

一体化级冷却(可选)

尽管在具有低离子束能量的低角度下铣削减少了样品加热,但温度敏感的样品可能需要进一步冷却。样品阶段的液氮冷却在消除热诱导的伪影方面非常有效。

SEM Mill的液氮系统的特点是一个杜瓦瓶位于完全集成和联锁的外壳内。杜瓦瓶放置在操作人员附近,便于操作。有两种杜瓦可供选择:标准杜瓦用于离子研磨过程中需要3到5小时冷却的应用,或者延长杜瓦用于需要在低温条件下运行188金宝搏亚洲体育与真人2018小时以上的应用。触摸屏上持续显示温度。

可编程的温度
SEM Mill提供了编程和保持环境和低温之间的特定温度的能力。

在低温下铣削结束时,在排气前,阶段温度自动升高到环境温度,以避免样品霜冻和污染。

如果杜瓦尔中的液氮变耗,则可以将热保护器编程为特定阶段温度阈值,其中如果液氮中的液氮耗尽,则将离子源失活。

自动终止

离子铣削过程可以自动终止时间或温度。

时间
计时器允许铣削以继续预定时间,然后在经过时间时将能量关闭到离子源。样品保留真空直至装载锁定通气。

温度
与样品冷却系统相关联的热保护装置,在样品阶段达到预设温度时,将停止该过程。

原位样本查看

使用任选的立体声或高倍倍率显微镜,可以在铣削位置原位监测离子铣削过程。

观察窗口由百叶窗保护,以防止溅射材料的堆积,可能干扰样品的观察。

立体显微镜(可选)
立体显微镜(7到45倍)增强样品观察。显微镜的长工作距离允许在铣削时观察样品。

高倍率显微镜(可选)
SEM Mill可配置525X或1,960X高倍显微镜,与CMOS摄像头和视频监视器相结合,在铣削过程中查看样品和捕获图像。该系统是制备现场特定样品的理想方法。

样本照明
高倍率和立体声显微镜都有光源,提供自上而下,用户可调,反射的样本照明。

触摸屏控制

触摸屏铣削参数通过一个10英寸的触摸屏输入,可以物理定位到您喜欢的高度和视角。通过触摸屏,可以控制多种仪器参数,如离子束能量、铣削角度、样品运动、样品位置、工艺终止等。

对于自动化,无人看管的操作,您可以编程一系列铣削序列。典型的方法是开始快速铣削以除去较大量的样品材料;然后,作为样品染色,较低的铣削速率以抛光样品。这些铣削序列可以很容易地存储和召回以供将来使用。

在铣削操作期间,铣削序列进度和仪器状态在触摸屏上实时显示。

高级功能包括用于管理示例数据、维护和日志文件以及映像存储的工具。

访问仪器配置,管理和诊断工具和维护和日志文件,通过授予各种用户级别的权限,并需要登录凭据。

堆叠灯系统状态指示灯(可选)
可选的堆栈灯允许您从房间视图系统状态。

燃气自动控制

两个质量流量控制器提供独立和自动调节过程气体的离子源。气体控制算法在多种离子源铣削参数下产生稳定的离子束。该工艺气体为超高纯度(99.999%)氩气。

完全集成的干式真空系统

集成的真空系统包括一个多级隔膜泵支撑的涡轮分子拖动泵。这种无油系统保证了样品处理的清洁环境。

因为对气体的要求TrueFocus离子源70 LPS涡轮分子拖拽泵体积小,操作系统的真空度约为5 × 10- 4mbar。真空水平测量与冷阴极,全量程计,并连续显示在触摸屏上。

最小的维护

由于电离的效率,维护TrueFocus离子源是最小的,部件具有极长的寿命。从离子源溅射的材料可忽略不计,最小化样品污染和组件维护。自动化窗口可防止在观察窗口上溅出溅射材料。所有系统组件都可以轻松访问常规清洁。

远程诊断
188bet体育国际Fischione仪器致力于支持最大仪器正常运行时间。为此,SEM磨机内置了远程诊断功能。连接到Internet时,可以通过Fischione全局服务远程访问SEM磨机,以便快速故障排除和诊断支持。188bet体育国际

服务和预防性维护
欲了解更多关于Fischione全球服务188bet体育国际的全面服务和预防性维护计划,请联系我们188bet体育国际Fischione全球服务

*标准尺寸;其他尺寸可根据要求提供。