型号1080

PicoMill®TEM样品制备系统

进行了最佳TEM试样制备第一次对吧

  • 达到最终的样品质量-无非晶和植入层
  • 补充FIB技术
  • 不引入工件的铣削
  • 先进的成像探测器技术和精确的端点检测
  • 用离子和电子进行原位成像
  • 显微镜连接无风险标本处理
  • 增加能力和容量
  • 快速、可靠、使用方便

fib后处理产生了最高质量的TEM样品

聚焦离子束(FIB)铣削是当今尖端材料广泛使用的技术,为制备透射电子显微镜(TEM)样品提供了一种手段。使用这些先进材料的挑战是创建电子透明且不受人工制品影响的样品。FIB在制备TEM样品方面是非常有效的,但使用高能液态金属离子源往往会导致样品的非晶化,镓注入,或两者兼有。

PicoMill系统是对FIB技术的理想补充;它增加了生产最佳试样质量的能力,同时通过离线移动最终细化,提高了整体试样制备吞吐量。

让FIB做它最擅长的事;让PicoMill系统完成剩下的工作

为了最大化FIB容量,样品可以离线,在PicoMill系统上进行最后细化。PicoMill系统提供了精确和可预测的薄化样品的能力,这减少了返工的可能性,并优化了样品处理时间。这通过生产高质量的样品提高了您的能力,并提高了整体样品制备吞吐量。

PicoMill系统将允许您实现第一次对吧每次标本准备。

特定场地,ultra-low-energy铣

PicoMill系统的离子源具有丝状电离室和静电透镜的特点。该离子源是专门为产生亚微米离子束直径的超低离子能量而研制的。它使用惰性气体(氩气),工作电压范围为50 eV至2 kV。

离子源的反馈控制算法在各种铣削参数下自动产生稳定和可重复的离子束条件。由于离子束可以聚焦到特定的区域,因此避免了溅射材料在感兴趣的区域上的再沉积。您可以扫描样品表面的一个区域或目标特定区域进行选择性铣削。离子只接触标本上感兴趣的地方,在那里它们需要做的工作。离子束远离栅极,防止了再沉积。

精密铣削角度调整

离子束撞击角度可从-15°到+90°进行编程。通过PicoMill系统的用户界面,离子源被固定在一定的位置上,测角仪通过倾斜试样支架来实现编程的铣削角度。样品沿X、Y和Z轴定位,以精确定位FIB片层相对于离子束和电子束。

铣削试样在低角度(< 10°)最大限度地减少损伤和试样加热。由于低角度铣削结合离子束光栅化,有利于不同材料的均匀细化,在制备层状结构或复合材料时非常有益。

原位成像

为了补充扫描电子柱,PicoMill系统有多个检测器:

  • 一个后向散射电子探测器(BSE)用于电子原位成像

  • 一个二次电子探测器(SED)用于原位离子和电子成像

  • 一个扫描和透射电子探测器(STEM)用于电子透明和端点检测

探测器组合允许您在离子研磨前、期间和之后对样品进行原位成像。在常规制备的样品上,可以对含有FIB片层或特定部位的网格进行成像。

你可以在一个专门的监视器上查看样品,它同时显示电子和离子诱导的二次电子图像。图像捕捉就像点击鼠标一样简单。

端点检测/过程终止

制备具有最佳电子透明度的样品是获得最佳TEM成像和分析质量的最终目标。这在使用当今的像差校正TEM技术时尤为关键。

随着样品变薄,电子透射率增加,前缘后退,这使得STEM探测器能够提供端点信息。PicoMill系统还可以基于时间终止,也可以手动停止。

显微镜连接减少标本处理

在PicoMill系统和TEM中使用相同的支架的能力意味着您可以快速、安全地将磨碎的样品从PicoMill系统运送到TEM,这在处理独一无二的样品时尤其有利。

PicoMill是E.A. Fischione Instruments, Inc.的注188bet体育国际册商标。PicoMilling是E.A. Fischione Instruments188bet体育国际, Inc.的服务标志。